微型傳感器

微型傳感器

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微型傳感器是指那些至少有一個物理尺寸在亞毫米量級的傳感器。就單一傳感器而言,微傳感器是指尺寸微小的傳感器;就集成的傳感器而言,微傳感器是指將微小的敏感元件、信號處理器、數據處理裝置封裝在一塊芯片上而形成的集成的傳感器。


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